① 싱글 크리스탈 풀링 프로세스
실리콘 웨이퍼의 재료 역할을하는 단결정 잉곳으로 제작
실리콘 웨이퍼의 재료로 사용되는 단결정 잉곳은 고품질 다결정 실리콘을 사용하여 제조됩니다.
단결정 잉곳 생성을위한 "CZ 방법"의 흐름
우리 회사는 CZ Method (Czochralski Method)라는 제조 스포츠 토토을 사용하여 실리콘 웨이퍼의 재료로 사용할 수있는 단일 크리스탈 잉곳을 제조합니다.
PPB 미만의 금속 불순물 농도를 갖는 다결정 실리콘 (1ppb = 10 억)은 붕산 (b) 및 인 (p)과 함께 석영 도가니에 넣고 대략 1420 ℃에서 녹아있다. 여기에 첨가되는 붕산 및 인과 같은 불순물의 양은 최종 완성 된 반도체의 전기 저항을 조정하고 특성을 결정합니다.
종자 결정 실리콘 막대는 도가니 내부에서 녹은 실리콘의 액체 표면에 부착 된 다음 회전하는 동안 그것을 당겨서 종자 결정과 동일한 원자 배열을 갖는 단결정 잉곳을 완성합니다. 이것이 CZ 스포츠 토토의 일반적인 흐름입니다.
요청에 따라 다른 방식으로 제작
또한, CZ 스포츠 토토에 강한 자기장을 적용하는 MCZ 스포츠 토토 (자기장 적용 Czochralski 스포츠 토토) 또는 석영 도가목을 사용하지 않음으로써 낮은 산소 농도로 단일 결정 잉곳을 키우는 FZ 스포츠 토토 (플로팅 영역 스포츠 토토)을 적용합니다. Sumco는 단결정 잉곳의 제조 단계에서 고객의 요청을 충족시킵니다.
